Если у вас возникли сложности с курсовой, контрольной, дипломной, рефератом, отчетом по практике, научно-исследовательской и любой другой работой - мы готовы помочь.
Предоплата всего
Подписываем
ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ
УРАЛЬСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
им. А.М. Горького
ФИЗИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ
Кафедра общей и молекулярной физики
МЕТОД МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ ПОКРЫТИЙ С ИОННЫМ АССИСТИРОВАНИЕМ
Допустить к защите: Курсовая работа:
Научный руководитель:
Екатеринбург
2009
ОглавлениеВведение
1. Физические основы метода
1.1. Метод магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием
1.2.Ионная очистка
2. Расчет распределения толщины покрытия по поверхности образцов
3. Методика эксперимента
3.1. Описание установки
3.2. Технологический цикл нанесения покрытий
3.3. Результаты и их обсуждение
Заключение
Список используемой литературы
ВведениеТехнологии, связанные с нанесением тонкопленочных покрытий, являются одними из наиболее актуальных направлений получения новых материалов, в том числе наноструктурных. Хорошим примером важности применения тонкопленочных покрытий являются полупроводниковая, оптическая промышленности и водородные технологии в энергетике. Высокие темпы развития этих наукоемких отраслей требуют непрерывного повышения качества и эксплуатационных свойств покрытий. Реализация