Поможем написать учебную работу

Если у вас возникли сложности с курсовой, контрольной, дипломной, рефератом, отчетом по практике, научно-исследовательской и любой другой работой - мы готовы помочь.

Предоплата всего

от 25%

Подписываем

договор

Имя

Выберите тип работы:

Принимаю Политику конфиденциальности

Скидка 25% при заказе до 18.5.2025

Вакуумное напыление, его основные стадии. Методы вакуумного напыления, их классификация.

Основные параметры ВН: конструктивные, режим работы распылителя, параметры распыляемого материала, внешних условий и потока частиц.

Термовакуумное напыление: резистивный нагрев.

Термовакуумное напыление: индукционный и электронно-лучевой нагрев. Ионное осаждение.

Дуговой нагрев при термовакуумном испарении.

Ионное распыление. Диодная схема ионно-плазменного распыления.

Высокочастотное ионное распыление. Триодная схема ионно-плазменного распыления.

Магнетронная схема ионно-плазменного распыления.

Ионно-лучевое распыление, реактивное вакуумное напыление. Параметры, преимущества и недостатки ионного распыления.

Теория ВН: испарение металлов и сплавов. Законы Ламберта-Кнудсена, Лэнгмюра и Рауля.

Теория ВН: ионное распыление в тлеющем разряде.

Теория ВН: Конденсация напыляемых частиц.

Теория ВН: механизмы зарождения и формирования покрытия.

Практика ВН: выбор типа и состава покрытия, его толщины. Применение промежуточных слоев.

Выбор способов ВН покрытий. Подготовка поверхности перед ВН. Распыляемые материалы для ВН. Технологическая схема вакуумного напыления.

Основные элементы и классификация установок ВН.

Вакуумная система установок ВН.

Устройства для испарения и распыления установок ВН.

Система электропитания установок ВН: силовые источники питания резистивных нагревателей, электронно-лучевых пушек, дугового и тлеющего разряда. Высоковольтные источники питания.

Установки ВН покрытий периодического, полунепрерывного и непрерывного действия.

Контроль толщины, электрического сопротивления, адгезии и микротвердости вакуумных покрытий.

Контроль скорости нанесения вакуумных покрытий.

Контроль пористости и коррозионной стойкости вакуумных покрытий.

Применение вакуумного напыления покрытий.