Ионно-сорбционная откачка
Работа добавлена на сайт samzan.net:
"Ионно-сорбционная откачка"
При ионно-сорбционной откачке используют два способа поглощения газа : внедрение ионов в объем твердого тела под действием электрического поля и химическое взаимодействие откачиваемых газов с тонкими пленками активных металлов .
Высокоэнергетические ионы или нейтральные частицы , бомбардируя твердое тело , проникают в него на глубину , достаточную для их растворения .Этот способ удаления газа является разновидностью ионной откачки . На рис. 1 показано равновесное распределение концентрации при ионной откачке в объеме неограниченной пластины толщиной , рассоложенной внутри вакуумной камеры .
Максимальную удельную геометрическую быстроту ионной откачки можно рассчитать по формуле (1) , где – коэффициент внедрения ионов ; = – удельная частота бомбардировки ; – плотность ионного тока ; – элементарный электрический заряд ; – молекулярная концентрация газа .
Коэффициент внедрения учитывает частичное отражение и рассеивание , возникающее при ионной бомбардировке . Коэффициент внедрения сильно зависит от температуры тела и слабо – от плотности тока и ускоряющего напряжения . Значение наблюдается для Ti , Zn при 300 … 500 К .
Максимальное значение концентрации растворенного газа при ионной откачке можно определить из условия равновесия газовых потоков : (2) ( D – коэффициент диффузии газа в твердом теле ) . Градиенты концентраций определяются следующими отношениями : здесь – глубина внедрения ионов ( – ускоряющее напряжение ) ; и – максимальная и начальная концентрация плотности поглощенного газа .
Так как величина мала по сравнению с ( константа даже для легких газов не превышает 1.0 нм./кВ ) , то величиной в уравнение (2) можно пренебречь : .
Отсюда следует выражение для максимальной концентрации растворенного газа : .
Если величина , рассчитанная по приведенной формуле превышает максимально возможную в данных условиях растворимость газа в металле , то поглощенный газ начинает объединяться в газовые пузырьки , вызывая разрыв металла . Это явление получило название блистер-эффекта .
В нержавеющей стали водородный блистер-эффект наблюдается при поглощение м3*Па/см2 , что соответствует при быстроте откачки м3/(с*см2) и давление Па приблизительно 300 часов непрерывной работы .
По известному значению можно подсчитать общее количество газа , которое будет поглощено единицей поверхности .
Во время ионной бомбардировки наблюдается распыление материала , сопровождающееся нанесением тонких пленок на электроды и корпус насоса . Сорбционная активность этих пленок используется для хемосорбционной откачки .
Распыление активного материала может осуществляться независимо от процесса откачки , например с помощью регулирования температуры нагревателя . Расход активного материала в таких насосах осуществляется независимо от потока откачиваемого газа .
Более экономно расходуется активный металл в насосах с саморегулированием распыления . В этих насосах распыление производится ионами откачиваемого газа , бомбардирующими катод , изготовленный из активного материала . Распыляемый материал осаждается на корпус и анод , где осуществляется хемосорбционная откачка .
Рис1. Установившееся распределение концентрации в неограниченной пластине , бомбардируемой высокоэнергетическими ионами .
X
ОглавлениеИонно-сорбционная откачка ....................................... 1
Рис1. Установившееся распределение концентрации в неограниченной пластине , бомбардируемой высокоэнергетическими ионами ............................ 3
Оглавление................................................................................ 4
Используемая литература :............................................ 5
Используемая литература :Л.Н. Розанов . Вакуумная техника .
Москва « Высшая школа » 1990 .
{ Slava KPSS }
2. ТЕМАТИКЕ Методические указания по выполнению лабораторных работ
3. Александринский театр
4. Тема Характеристики электроакустических преобразователей Краткие теоретические сведения
5. тема человека подразделяется на центральную периферическую и автономную части
6. Тектоника Нигерии
7. Поселим в нём людей
8. Учет расчета с бюджетом по налогам и сборам
9. Цех мебельного комбината выпускает трельяжи трюмо и тумбочки под телевизоры
10. Это самый действенный способ модифицировать поведение потребителей привлечь внимание к товарам услугам
11. Основи есхатології.html
12. Учебно-развлекательная игра Профессиональный лабиринт
13. На тему- Спільний ринок країн Південного конусу МЕРКОСУР Виконала- студентка 4го курсу заочної форм
14. Облік оприбуткування основних засобів Одиницею обліку основних засобів відповідно до ПСБО 7 є об~єкт о
15. По расчёту устойчивости производственных жилых и административных зданий к воздействию резкого повышени
16. бым смыслом для врачей и других медицинских работников
17. Детский сад компенсирующего вида 146 г
18. ЖИТТЄВІ РОЛІ ТА РОЛЬОВА СОЦІАЛІЗАЦІЯ Ролі та життєві сценарії людини Структура рольової взаємодії
19. внутри побуждает толкает или заставляет их в данной ситуации поступать так а не иначе.
20. Реферат- Множественность преступлений.html