Поможем написать учебную работу
Если у вас возникли сложности с курсовой, контрольной, дипломной, рефератом, отчетом по практике, научно-исследовательской и любой другой работой - мы готовы помочь.
Если у вас возникли сложности с курсовой, контрольной, дипломной, рефератом, отчетом по практике, научно-исследовательской и любой другой работой - мы готовы помочь.
учебно-методический комплекс по дисциплине
МЕТОДЫ ЭЛЕМЕНТНОГО И СТРУКТУРНОГО АНАЛИЗА
для студентов групп Т7-38, Е7-02
Календарный план дисциплины
Часть 1. 7 семестр
1 лекция
Элементный и структурный анализ в развитии современных технологий. Основные определения, используемые в последующем изложении. Упругое рассеяние в лабораторной системе координат.
2 лекция
Упругое рассеяние в системе центра масс. Связь между сечением рассеяния и прицельным параметром. Вычисление сечения рассеяния в лабораторной системе координат по известному сечению рассеяния в системе центра масс.
3 лекция
Сечение рассеяния в кулоновском и обратноквадратичном потенциале.
4 лекция
Упругое рассеяние иона на атоме при экранированном кулоновском потенциале взаимодействия. Функция экранирования. Линдхардовское сечение рассеяния для экранированного кулоновского потенциала. Аппроксимация аналитическими выражениями.
5 лекция
Ядерная и электронная тормозная способность и их связь с удельными потерями энергии при движении ионов в твердом теле. Расчет тормозных способностей ионов для кулоновского и экранированного кулоновского потенциалов взаимодействия. Расчет тормозных способностей для соединений.
6 лекция
Расчет траекторных пробегов ионов в твердом теле и распределение внедренных ионов по глубине образца. Коэффициент отражения и зарядовый состав отраженных ионов.
7 лекция
Расчет коэффициента распыления в модели Зигмунда. Эмпирические формулы расчета коэффициента распыления. Энергетическое и угловое распределение распыленных частиц. Ионное травление. Расчет скорости ионного травления. Профиль ионной имплантации при учете распыления.
8 лекция
Отраженные и вторичные электроны электрон-электронной эмиссии. Энергетический спектр и угловые характеристики. Расчет удельных потерь энергии и траекторного пробега.
9 лекция
Сечение ударной электронной ионизации. Оже-электроны. Систематика Оже-переходов. Переходы Костера-Кронига. Излучательные переходы. Классификация линий характеристического рентгеновского излучения. Вероятности рентгеновской флуоресценции и Оже-переходов.
10 лекция
Взаимодействие рентгеновского излучения с твердым телом (фотоэффект, эффект Ком-птона). Сечение фотоэффекта и его связь с линейным коэффициентом поглощения рентге-новского излучения. Расчет массового коэффициента поглощения для полиатомных образцов.
11 лекция
Характеристики электронных пучков. Источники ускоренных электронов. Термоэмиссион-ные и автоэмиссионные катоды и их характеристики. Основные узлы и характеристики элек-тронной пушки.
12 лекция.
Параметры ионных источников. Конструктивные элементы ионных источников. Дуоплаз-матрон и ионный источник Пеннинга.
13 лекция
Магнитные масс-анализаторы. Понятие разрешения по массам. Квадрупольные масс-анализаторы.
14 лекция
Измерение энергетического спектра заряженных частиц электростатическими энергоанализаторами (цилиндрический дефлектор, сферический дефлектор, цилиндрическое зеркало).
15 лекция
Детекторы заряженных частиц канальные электронные умножители и микроканальные пластины. Поверхностно-барьерный детектор. Твердотельный рентгеновский спектрометр
16 лекция
Основные понятия вакуумной техники. Длина свободного пробега ионов при различных давлениях. Адсорбция остаточных газов на поверхности образца. Методы очистки поверхности.