Если у вас возникли сложности с курсовой, контрольной, дипломной, рефератом, отчетом по практике, научно-исследовательской и любой другой работой - мы готовы помочь.
Предоплата всего
Подписываем
2. Исследование свойств поверхностей полимеров путем картографирования сил адгезии и анализа особенностей кривых отвода –подвода зонда АСМ
Цель работы – ознакомление с возможностями методов атомно-силового микроскопа при исследовании механических свойств материалов микроэлектроники.
2.2. Практическая (экспериментальная) часть
2.2.1. Ознакомление с интерфейсом программного обеспечения атомно-силового микроскопа (основными параметрами, управлением АСМ в процессе измерения, работа с изображениями) при проведении спектроскопий различных сигналов.
2.2.2. Подбор параметров сканирования для каждого образца (кремний, полимер) и проведение регистрации рельефа поверхности, картографирование сил адгезии.
2.2.3. Проведение силовой спектроскопии (регистрация зависимостей DFL(Height) для кремния и полимера в 10 позициях.
2.2.4. Проведение силовой спектроскопии (регистрация зависимостей DFL(Height) для кремния в 10 позициях при различных значениях радиуса закругления зонда, при различных константах жесткости кантилеверов. Повторить измерения для полимера.
2.3. Обработка результатов
2.3.1. Проанализировать и сравнить изображения рельефа поверхности и карту распределения адгезионных сил для кремния, для полимера. Пояснить различия.
2.3.2. Провести вычисление сил адгезии для кремния и полимера по данным силовой спектроскопии. Сравнить полученные результаты.
2.3.3. Провести вычисление сил адгезии для кремния по данным силовой спектроскопии, полученным зондовыми датчиками с различным радиусом закругления, с различным коэффициентом жесткости. Сравнить полученные результаты.
2.3.4. Провести вычисления п. 6.3.3. для полимера.
2.3.5. Провести вычисление силы, действующей на зонд во время сканирования для кремния и полимера при изменении размеров радиуса закругления зондового датчика, с различными коэффициентами жесткости кантилевера. Сравнить полученные результаты.
1. Пояснить ход зависимостей отвода-подвода для кремния, для полимера. С чем связан гистерезис кривых отвода- подвода?
2. Сравнить зависимости отвода-подвода для кремния и полимера.
3. Каким образом параметры зондового датчика (жесткость кантилевера, радиус закругления) влияют на величину силы адгезии? Как изменяется сила, действующая на зонд во время сканирования?
4. Какие полимерные материалы применяются в современной микроэлектронике? Привести примеры материалов и назвать функции, которые они выполняют в микроэлектронике.
PAGE 1