Если у вас возникли сложности с курсовой, контрольной, дипломной, рефератом, отчетом по практике, научно-исследовательской и любой другой работой - мы готовы помочь.
Предоплата всего
Подписываем
AUTHOR Maks Fomič – Конспект по ФМИ.
Сравнительная таблица методов исследования поверхности
|
Метод |
Зонд. частицы |
Рег. частицы |
Опред. эл. |
Чувств-сть (в моносл.) |
Глубина зондирования |
Анализ по глубине |
Колич. анализ |
Локальный анализ |
|
SIMS |
Ar+ (O2+) |
распылённые ионы |
H – U |
10-5 |
6-10 Å |
да (разрушающий) |
относит.1 |
да |
|
RBS |
He+, H+ |
рассеянные ионы |
Be – U |
10-4 – 10 (2) |
100 Å |
да (неразрушающий) |
абсолютный |
нет3 |
|
NRA |
p, n,… |
γ |
H, B, C, O |
0,1 |
100-1000 Å |
да (неразрушающий) |
абсолютный |
нет |
|
EDX |
e |
рентген |
Na – U4 |
0,5 |
10 000 Å |
нет |
формально абсолютный5 |
да! |
|
AES |
e |
Оже-электроны |
Li – U6 |
0,1 |
20 Å |
да (разрушающий) |
относит. |
да |
|
XPS |
рентген |
фотоэлектроны |
Li – U |
0,1 |
30 Å |
нет |
относит. |
нет |
1 Много влияющих факторов, используют эталоны. С одной стороны, ситуация стандартная, с другой стороны, эти эталоны довольно сложно получить, поскольку они должны быть близки к образцу.
2 Чем тяжелее элемент, тем точнее он определяется.
3 Слішком высокая энергия пучков, сложно манипулировать
4 У элементов легче натрия слишком слабый сигнал. На физфаке более широкий спектр можно определить (C – U)
5 Оператор спросит: «Вам надо концентрации?» Вы скажете: «Да». Но нужно иметь в виду, что количественный результат является результатом компьютерной обработки, алгоритмы которой работают неизвестно как. По крайней мере, изобретены они для гомогенных образцов. Так что, например, для тонкой пленки на подложке такой метод не идет.
6 Ориентирован в первую очередь на легкие элементы, поскольку в них электроны релаксируют преимущественно по безызлучательному механизму