Если у вас возникли сложности с курсовой, контрольной, дипломной, рефератом, отчетом по практике, научно-исследовательской и любой другой работой - мы готовы помочь.
Предоплата всего
Подписываем
14 Исследование и автоматизация технологического процесса ПХТ пластин
Для автоматизации и совершенствования оборудования необходимо провести ряд существенных измениений.
Камеру плазмохимического травления нужно заменить на камеру большого диаметра (300 мм). Она разработана для травления тонких пленок (Si, SiO2, Si3N4, полимеров и таких металлов, как W, Ta, Ti, Mo) на кремниевых подложках диаметром до 200 мм. Установку укомплектовать двумя сапфировыми стеклами диаметром 25 мм (одно для лазерной интерферометрии, другое – для визуального контроля процесса травления).
Катод диаметром 220 мм, который укомплектован:
1.Верхней частью, сделанной из алюминия и охлаждаемой циркуляцией жидкого диэлектрика
2.Алюминиевым челноком с графитовым столом для установки и снятия (загрузки и выгрузки) изделия
3.Гелиевым теплообменником между задней частью челнока и катодом с контролем потока
4.MKS -измерителем электрического сопротивления для измерения давления гелия
5.Механическим зажимом челнока
Дополнительное оборудование
Необходимо установить автоматический лазерный датчик окончания процесса с CCD -камерой для наблюдения за лазером (O25 µм) и предмета травления. Он укомплектован линзами с кратностью увеличения более 100 раз. Датчик измеряет степень травления, толщину протравленной поверхности и определяет окончание процесса. Также датчик укомплектован специальной поверхностью, двигающуюся в двух направлениях для точного позиционирования лазера.
Лист
21
24А4б.19.00.00.000
После проведения автоматизации установки мы получаем следующие параметры:
- использование специальных челноков оптимизировано для каждого процесса перехода с кремниевого травления к травлению металлов. Это позволяет минимизировать эффект памяти и перезагрязнение.
- использование вакуумного замка обеспечивает безопасность и повторяемость процесса плазмохимического травления
- датчик завершения процесса травления полностью интегрирован в систему и в программное обеспечение. Это дает возможность контроля за процессом травления, определения степени травления в реальном времени и подсчет глубины травления с автоматической остановкой процесса.