Физические основы нано и микросистемной техники Билет 1 Определение микросистемы
Работа добавлена на сайт samzan.net: 2015-07-05
Поможем написать учебную работу
Если у вас возникли сложности с курсовой, контрольной, дипломной, рефератом, отчетом по практике, научно-исследовательской и любой другой работой - мы готовы помочь.
Предоплата всего
от 25%
Подписываем
договор
Вопросы к экзамену по дисциплине «Физические основы нано- и микросистемной техники»
Билет № 1
- Определение микросистемы. Основные виды микросистем. Основные входные и выходные параметры микросистемы на примере микромеханического акселерометра.
- Расчет величины напряжения, подаваемого между обкладками электростатического актюатора для обеспечения заданной величины перемещения его консольной балки.
Билет № 2
- Физические принципы функционирования чувствительных элементы микросистем (пьезорезистивных, емкостных, резонансных, пьезоэлектрических).
- Расчет величины деформации термоактюатора на основе полиимида при заданной температуре, геометрических характеристиках и свойствах материала.
Билет № 3
- Классификация и физические принципы функционирования микромеханических сенсоров угловых скоростей.
- Расчет величины деформации п-образного термоактюатор при заданной температуре, геометрических характеристиках и свойствах материала.
Билет № 4
- Классификация и физические принципы функционирования микромеханических сенсоров линейных ускорений.
- Расчет величины деформации гребенчатого электростатического актюатора при заданной величине напряжения, подаваемого между его обкладками, геометрических характеристиках и свойствах материала.
Билет № 5
- Физические принципы функционирования актюаторных элементов микросистем (термический, термопневматический, пьезоэлектрический, электростатический).
- Расчет величины деформации балочного мкиромеханического элемента при заданном усилии деформации, геометрических характеристиках и свойствах материала.
Билет № 6
- Физические принципы функционирования интегральных микрозеркал с электростатической активацией.
- Расчет величины перемещения балочного элемента при его нагреве и заданных геометрических характеристиках и свойствах материала.
Билет № 7
- Физические принципы функционирования акселерометров с нагреваемой пластиной и нагреваемым газом.
- Расчет собственной частоты упругого подвеса гребенчатого микромеханического элемента при известных геометрических характеристиках и свойствах материала.
Билет № 8
- Классификация интегральных микродвигателей. Физический принцип функционирования электростатического воздушного планарного микродвигателя.
- Расчет величины напряжения, подаваемого на отклоняющие электроды электростатического микрозеркала для обеспечения заданного угла деформации при заданных геометрических характеристиках и свойствах материала.
Билет № 9
- Классификация интегральных микродвигателей. Физический принцип функционирования электростатического диэлектрического планарного микродвигателя.
- Построить зависимость перемещения термоактюатора от его температуры при заданных геометрических характеристиках и свойствах материала.
Билет №10
- Классификация интегральных микродвигателей. Физический принцип функционирования пьезоэлектрического микродвигателя.
- Построить зависимость деформации консольной балки электростатического актюатора от величины управляющего напряжения, подаваемого между его обкладками при заданных геометрических характеристиках и свойствах материала.
Билет №11
- Физические принципы функционирования и основные характеристики интегральных микромеханических ключей. Явление гистерезиса при функционировании микромеханических ключей с электростатической активацией.
- Расчет перекрестной чувствительности микромеханического акселерометра емкостного типа.
Билет №12
- Физические принципы функционирования термомеханического ИК-детектора. Основные соотношения. Расчет модуля упругости и остаточных изгибов композиционных балок и мембран.
- Расчет предельного угла отклонения электростатического микрозеркала.
Билет №13
- Физические принципы функционирования туннельных детекторов. Основные соотношения. Эффекты влияющие на функционирование туннельных детекторов.
- Расчет модуля упругости одного из слоев биморфного балочного элемента при заданной разнице температур и соответствующей ей величине деформации.